6英寸晶圆测试系统-东南大学-竞价公告(CB102862024000388)
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东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000388)
发布时间：2024-04-01 16:52:19 截止时间：2024-04-03 18:00:00
基本信息：
申购主题：6英寸晶圆测试系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币
收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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| 1 | 6英寸晶圆测试系统 | 1/台 | 傅测科技 | APEX-600 | 1、显微镜系统 1.1 显微镜支架，可以X/Y轴线性移动；移动范围：20mm×20mm，设计扩展其它仪表整合显微镜一体化。 *1.2 金相显微镜：西登托夫类型，可调范围：51-76mm；使用同心粗调（3.8mm/rve）和微调（0.05mm/rve）聚焦（左/右）以达到50 mm的行程范围，2X/10X/20X/50X物镜双目金相显微镜，可目镜观察，也可直接在显示屏上观察。 1.3 包含HDMI高清CCD。 1.4 包含150 W冷光源，全色域光谱。5500k色温，光纤光源，1.5米1.5具备显微镜桥接口，可以自行更换、升级显微镜。 2、电学测试台主机 2.1 样品台（Chuck）：可装载包括6英寸以内样品；样品真空吸附，并且吸附区域可选择，具备刻度环；平整度＜10μm。 *2.2 具有气浮式样品台，采用空气轴承，可一键360°全量程大范围快速移动。 2.3 样品台可粗调360度，微调角度±5°。 *2.4 X/Y快速平台移动范围≥180mm×230mm；微米级精细移动范围≥25mm×25mm。 2.5 可方便、无风险样品装载。 *2.6 针座放置平台（Platen）可调节位移≥10mm。Platen微调带微调电子千分尺，千分尺具有调零功能，可实施显示Platen升降高度 *2.7 针座放置平台有三档调节微调高度设计（防止更换样品时，针尖与样品剧烈碰撞），平台三挡微调高度：0-300μm-3mm。 2.8 最多可容纳10组DC直流针座和4组RF射频针座。 3、探针座 3.1 配备6只磁性吸附的直流探针座。针座精度0.7微米，XYZ行程：12.5/12.5/12.5mm。 3.2 配置4根直流针杆，直流针杆采用三同轴套管形式。 3.3 配置2根开尔文测试针杆，5根超低漏电开尔文探针 4、直流探针 4.1 直流探针满足0～50mHz的测试频率范围，直流探针漏电流＜100fA 5、光电屏蔽系统 * 5.1 系统需配置完全兼容的减震平台进行放置，保证测试精度，固有频率1.2 ~ 2.0 Hz，双腔室空气弹簧，隔振来源 阻尼孔水平维持方式，高精度阀门自动维持水平，EMI 屏蔽 > 20 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz，光衰减 ≥ 100 dB，光谱噪声基底 ≤ -200 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)，系统交流电噪声 ≤ 10 mVp-p (≤ 1 GHz) *6、自动化测试系统，支持RS232、LXI测试仪器，对AD芯片，FGPA芯片，CMOS电路测试数据保存，图形显示，数据存储功能，实现动态范围：10pAto1A,1µVto200V,20W，四象限工作0.012%的精确度，5½的分辨率，可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量。 *7、多通道测试探卡，配合自动化测试系统，20路测试通道，pitch尺寸小于30微米。 *8、可升级磁场功能选件，完成 霍尔迁移率：0.01-106 cm2 /Vs，电阻范围：10MΩ-1GΩ，电阻率：1*10-5 到 105Ωcm功能测试。 | 按行业标准提供服务 |
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