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365nm光源平行性:2º★曝光分辨率:0.8um-1um曝光能量密度:>30mW/cm²可调照度不均匀性:≤2
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掩模相对于样片运动行程至少满足:X:5mm,Y:5mm,θ:±6º;15、曝光能量密度:>35mW/cm2;16、对准位和曝光位双工位工作
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掩模相对于样片运动行程至少满足:X:5mm,Y:5mm,θ:±6º;15、曝光能量密度:>35mW/cm2;16、对准位和曝光位双工位工作
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≥5mw/cm²。7、UV光源:≥6支(三种波长至少8W灯管)。至少50个曝光能量与曝光时间设定可保存。8、程序组(组):≥50组。9、曝光能量测量范围
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±6°最大焦厚:400mm(SU8胶,用户提供检测条件)光源平行性:3.5°曝光能量密度:>20mw/cm2,照明面温度单层曝光一键完成采用球气浮自动找平汞灯功率
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999.9minUV辐射能量:最高能达5mw/cm2UV光源:6个8W灯管;50个曝光能量与50个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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±6度;汞灯功率:200W(进口直流长寿命高压汞灯);曝光波长:365nm;曝光能量密度:6mW/cm²;(6-10mW/cm能量可根据需要方便调节)。曝光方式
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(三)根据市场调研,国产激光直写光刻机尚处于更新研发阶段,曝光能量不稳定,线宽均匀性和套刻精度对比进口设备性能相差很多,而且存在诸多的不稳定因素
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999.9minUV辐射能量:最高能达5mW/cm2UV,6个8W灯管光源:50个曝光能量与50个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。)曝光能量密度是非核心指标不低于30毫瓦每平方厘米
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功率60W3、UV辐射能量:最高能达5mw/cm24、UV光源:5个10W灯管;9个曝光能量与9个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置5、曝光能量测量范围
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999.9minUV辐射能量:最高能达5mw/cm2UV光源:6个8W灯管;50个曝光能量与50个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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★最大焦厚:400μm(SU8胶,用户提供检测条件)16.光源平行性:2.5o17.曝光能量密度:>35mW/cm218.单层曝光一键完成19.采用球气浮自动找平20
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★最大焦厚:400μm(SU8胶,用户提供检测条件)16.光源平行性:2.5o17.曝光能量密度:>35mW/cm218.单层曝光一键完成19.采用球气浮自动找平20
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999.9minUV辐射能量:最高能达到5mw/cm²UV光源:5根×10W灯管,9个曝光能量与9个曝光时间设定(可保存),UV曝光能量、曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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999.9minUV辐射能量:最高能达到5mw/cm²UV光源:5根×10W灯管,9个曝光能量与9个曝光时间设定(可保存),UV曝光能量、曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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功率60WUV辐射能量:最高能达5mw/cm2UV光源:5个10W灯管;9个曝光能量与9个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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±6o最大焦厚350μm(SU8胶,用户提供检测条件)光源平行性:3.5o曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面温度<35o单层曝光一键完成
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功率60W3.UV辐射能量:最高能达5mw/cm24.UV光源:6个8W灯管;50个曝光能量与50个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手5.动设置、UV曝光时间手动设置6
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±6º★最大焦厚:400mm(SU8胶,用户提供检测条件)光源平行性:2.5º曝光能量密度:>40mW/cm²单层曝光一键完成采用球气浮自动找平照明不均匀性
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功率60WUV辐射能量:最高能达5mw/cm2UV光源:6个8W灯管;50个曝光能量与50个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置曝光能量测量范围
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UV辐射能量:最高能达5mw/cm210、UV光源:6个8W灯管;50个曝光能量与50个曝光时间设定并可保存;UV曝光能量手动设置、UV曝光时间手动设置11
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200LPI/2400DPIAM;7、表层处理:电子化学研磨和阳极氧化处理;8、曝光能量:120-140mj;9、工作条件:操作环境温度:4℃
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200LPI/2400DPIAM;7、表层处理:电子化学研磨和阳极氧化处理;8、曝光能量:120-140mj;9、工作条件:操作环境温度:4℃
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±6º最大焦厚:400nm(SU8胶,用户提供检测条件)光源平行性:2.5º曝光能量密度:>45mW/cm²单层曝光一键完成采用球气浮自动找平照明不均匀性
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功率60W、UV辐射能量:最高能达到5mw/cm2\UV光源5个10W灯管、曝光能量测量范围0-99.99焦耳1台2白光扫描仪6400dpi超高分辨率