ALD原子层沉积系统-深圳大学-竞价公告(CB105902024000489)
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深圳大学 - 竞价公告 (CB105902024000489)
发布时间:2024-05-10 17:25:22 截止时间:2024-05-17 12:00:00
基本信息:
申购主题:ALD原子层沉积系统
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
付款方式:货到验收合格后付款
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
预算:199,980.00 人民币
收货地址:广东省/深圳市/南山区/****
供应商资质:
备注说明:
采购明细:
序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | ALD原子层沉积系统 | 1/套 | 登录即可免费查看 | 普迪真空 | ALD-T100Q | 1、真空腔室:6061 铝阳极氧化处理,腔室内尺寸Φ200×10 mm; 2、真空系统:双极旋片油泵,抽速度不小于 16 m3/h;气动真空阀门+耐污染薄膜真空计; 3、极限真空:系统极限优5.0×10-3Torr,系统真空漏率小于 5*10-10 Pa.m3/s; 4、样品台尺寸:4 英寸样品托,兼容 4 inch 及以下样品尺寸; 5、样品台温度:4英寸内样品表面加热温度最高可达300℃,温度控制精度±0.5℃; 6、前驱体路数:3路可加热至200℃的金属驱体源和1路水以及臭氧前驱体源; 7、吹扫管道:2路质量流量计控制前驱体源吹扫管道,分别吹扫金属前驱体源和水前驱体源管道; 8、生长模式:连续和停留沉积模式选择; 9、控制系统:PLC+工控机+触摸屏人机交互界面; 10、电源功率:50-60Hz,380VAC /20A交流电源; 11、沉积非均匀性:在4inch硅片上,沉积500ycle氧化铝非均匀性<±1%; 12、仪器尺寸:780mm x 750 mm x 1100 mm(长*宽*高); 13、可沉积材料种类:SiO2、TiO2、SnO、FeO、CoO、NiO、Al2O3、ZnO、HfO2、ZrO2、MgO等 | 按行业标准提供服务 |