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蒸发镀膜仪采购成交公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2023-01335
竞采结果公告
项目名称 蒸发镀膜仪采购
项目编号 SUSTech-JC-2023-01335
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
公示时间 本公告自发布之日起三日
成交单位 深圳市北极光进出口科技有限公司
成交金额(元) 登录即可免费查看.00
成交理由 最低价成交
预算(元) 登录即可免费查看.0
项目预算是否含税 国产含税
备注

响
应
情
况		 采购明细
序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价)
1
 蒸发镀膜仪（核心货物）
 1
 台
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品牌
 科晶
型号
 GSL-1800X-ZF4
生产厂商
 沈阳科晶自动化设备有限公司
产地信息
 沈阳
技术规格及参数
 1、适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如 Ti、Al 、Au 等）和小分子的有机物材料蒸发镀膜。
2、蒸发输出：电压AC，0-8V连续可调，极限蒸发电流200A，极限蒸发功率<1.6KW。
3、真空腔：Ø300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理
4、观察窗：Ø100mm，采用专用密封圈密封。
5、真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s。
6、真空度：8.0x10-4Pa。
7、极限真空：8.0x10-5Pa。
8、漏率：6.7×10-8Pa•L/S。
9、样品台：φ120。
10、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟，加热舟上方配有一个可旋转挡板，每个加热舟都可独立进行蒸镀。
11、蒸发舟与样品台间距：140-200mm。
12、样品台加热温度：室温～500℃，可自动控温，测温。
13、冷却水需量：15L/min。
14、输入：单相AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵）。
15、真空腔室： 真空专用优质不锈钢； 尺寸约 300×300×H400mm； 内抛光处理，前开门结构。配内衬防污板。
16、φ100 mm观察窗。
17、真空系统：700L/S 脂润滑分子泵+6L/S 旋片式真空泵组成高真空抽气系统。
18、漏率： 优于 5×10－8Pa*L/S（国家标准）。
19、脂润滑分子泵 700L/S，抽速： 700 L/S。
20、真空极限：5.0×10-5Pa。
21、抽气时间： 大气压~7*10-4Pa 小于 40min； (氮气破真空）。
22、可配4根水冷铜电极组成独立水冷电极蒸发源2组或共用公共级蒸发3组；2KW 蒸发电源恒压恒流模式可选。
23、PLC+触摸屏手自动控制。
24、基片台可镀基片尺寸/面积： 80*80mm。配备专用工装夹具抽插结构，方便用户安装基片。
25、基片台电动升降：升降范围70mm，蒸发源与基片台距离约260-330mm，可有效提高贵重材料利用率及膜厚。
质保期
 1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。质保期过后三年内需提供免 费上门巡检服务。
2..维修响应时间：质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，24小时内响应，指导客户维护，如确需上门服务，72小时内派员上门现场维护，并在5天内提供解决方案，如在规定时间内不能解决设备故障，应推荐相同档次、功能的设备给招标人代用。
售后要求
 在质量保证期内，如合同货物出现质量问题、数量不足、故障、缺陷的, 由卖家负责包修、包换或者包退，并承担修理、调换或退货所发生运费、维修人员交通差旅费等费用。

付款方式 货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付100％的货款。
交货期 合同签订后7天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前2天（自然日）通知送货
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