磁控溅射镀膜系统-天津大学-竞价公告(CB100562023000590)
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天津大学 - 竞价公告 (CB100562023000590)
发布时间：2023-09-06 13:30:35 截止时间：2023-09-08 15:00:00
基本信息：
申购主题：磁控溅射镀膜系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币
收货地址：天津市/市辖区/南开区/****
备注说明：
采购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
|---|
| 1 | 磁控溅射镀膜系统 | 1 | 普迪真空 | PD-400C | 基本配置： 1. 极限真空优于5×10-5Pa；（干燥环境） 2. 抽速测试：从大气抽到工作真空（7×10-4Pa）时间少于40分钟；（干燥氮气环境） 3. 溅射尺寸：衬底基片最大6英寸，兼容3英寸、2英寸、Φ45mm、Φ30mm， 以及小尺寸方形片（对角线长度小于45mm）。基片旋转速度：5～25rpm连续可调； 4. 样品台加热：最高温度500°；控温误差±5° 5. 成膜质量：托盘尺寸6英寸，4英寸范围内均匀性优于±5%； 气体控制 1. 3路进气，采用流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/100/50sccm，3路气体经过流量计后混合，混合后导入真空室靶面； 溅射靶枪 1. 3个普迪真空公司3英寸圆形靶枪，杆状安装，共焦向上溅射； a) 2个射频靶枪，1个靶枪和工件距离60-120mm电动可调节； b) 每个靶枪带一个独立的电控气动挡板； c) 兼容直流和射频； 直流电源： 1. 1个500W直流电源； a) 最大输出功率500W，最高输出电压800V； b) 输出采用功率控制模式； c) 硬件互锁保护（真空度，真空室门，冷却水等） 射频电源： 1. 1个功率500W自动匹配射频电源： a) 最大输出功率500W，频率13.56MHz； b) 输出采用功率控制模式； c) 自动匹配，匹配时间短，反射功率接近于0 偏压加热电动升降工件台： 直径6英寸工件台： a) 转速0-25RPM可调节； b) 转轴磁流体密封； c) 样品台可加偏压； d) 样品台加热温度500℃；导电温控仪控温； | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
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