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优普莱微波等离子体化学气相沉积系统升级加装气路结果公示

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容



采购结果详细(202300121781)---- 中山大学

申购单主题: 优普莱微波等离子体化学气相沉积系统升级加装气路 申购单位: 物理学院
申购备注:
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型
优普莱微波等离子体化学气相沉积系统升级加装气路 优普莱 UP-206 1 国内含税价/人民币
售后服务 需上门安装,并调试为可用,满足设备使用三甲基硼气体的需求
规格 MFC(质量流量控制器)1个,气动阀3个,过滤器1个,进气管3个,VCR垫片15个,PU管4个,DB9定制线1个,快插弯头3个
中标供应商 单价 初选理由
深圳优普莱等离子体技术有限公司 30000 最低价原则




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