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中山大学集成电路学院光学膜厚仪采购项目采购需求公告

基本信息

省份	广东	城市	中山市
招标代理机构		项目名称	中山大学集成电路学院光学膜厚仪采购项目
采购单位	中山大学立即查看	采购联系人	登录即可免费查看
采购电话	登录即可免费查看
拟定单一来源采购供应商

基本信息
项目名称		省份
业主单位		业主类型
总投资		建设年限
建设地点
审批机关		审批事项
审批代码		批准文号
审批时间		审批结果
建设内容

中山大学集成电路学院光学膜厚仪采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2022]1704号
项目名称	中山大学集成电路学院光学膜厚仪采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	光学膜厚仪	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2022-12-03 16:05	采购结束时间	2022-12-09 12:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后180天交货	经办人	登录即可免费查看	经办人电话	84115085-808
送货地址	广东省深圳市光明新区公常路66号中山大学深圳校区理学园
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式（2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、“★”标注的技术参数为废标条款，如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备

数量

参考品牌

详细响应要求

光学膜厚仪

1台

详情请进入系统查看

"光学膜厚仪"技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否需要附件说明
1	构造：至少达到分体双模双工位	重要	否
2	★载台：规格数目≥2种，至少包括8寸/6寸	非常重要	是
3	★波长范围：250nm～900nm（模组1）/ 380nm～900nm（模组2）	非常重要	是
4	测试方式至少包括：反射式-可见+紫外	非常重要	是
5	光源种类≥1种，包括钨卤素灯或氚灯	非常重要	是
6	入射角：0°角（垂直入射）	重要	否
7	光斑尺寸：1mm^2 ～4mm^2 可调配置（模组1） / 40微米（模组2）	非常重要	是
8	测厚范围：1nm~50um	重要	否
9	折射率N：须厚度≥50nm	重要	否
10	准确性：≤2nm或0.5%（厚度的0.5%大于2nm时）	重要	否
11	精度：≤0.1nm	重要	否
12	CCD：≥500万像素	重要	否
13	显微物镜：显微镜物镜≥4个，包括：5×、10×、20×、40×物镜	重要	否
14	配置清单:1、膜厚测试仪 1台； 2、电源 1套	重要	是

欢迎供应商注册、报价，如有疑问请联系技术支持qq:1933416688
1、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
2、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
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