FeFET半导体器件进行自主加工服务（ZJLAB-FS-BX20230439）延期公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
延期信息
| 延期理由： | 由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至2023-07-19 11:00 | ||
|---|---|---|---|
| 项目名称 | FeFET半导体器件进行自主加工服务 | 项目编号 | ZJLAB-FS-BX20230439 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2023-07-14 10:02:45 | 公示截止日期 | 2023-07-19 11:00:00 |
| 采购单位 | 之江实验室 | 付款方式 | 合同签订后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预算 | ￥ 454,800 | ||
| 收货地址 | |||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | 由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至2023-07-19 11:00 | ||
采购清单1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| ICP刻蚀 | 45 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 1,000 | ||
| 技术参数 | 刻蚀图形 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单2
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 划片 | 35 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 580 | ||
| 技术参数 | 将不同功能器件分割开;35小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单3
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 台阶仪 | 15 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 300 | ||
| 技术参数 | 测量刻蚀深度；15小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单4
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 安全培训 | 2 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 1,000 | ||
| 技术参数 | 工艺间人员综合培训；2小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单5
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 光刻 | 46 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 1,200 | ||
| 技术参数 | 刻蚀掩膜光刻；46小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单6
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 工艺间使用费 | 560 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 90 | ||
| 技术参数 | 自行操作人员在工艺间时长收费;560小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单7
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| Stepper光刻 | 50 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 2,200 | ||
| 技术参数 | 使用stepper批量刻蚀图形;50小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单8
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| OX PECVD | 30 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 980 | ||
| 技术参数 | 沉积衬底、包层;30小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单9
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射 | 28 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 3,000 | ||
| 技术参数 | 溅射金属硬掩模、电极;28小时 | ||
| 售后服务 | /; | ||
采购清单10
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 金属干法刻蚀机 | 45 | 机时 | 技术测试和分析服务 |
| 推荐品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 推荐规格型号 | |||
| 预算 | ￥ 1,200 | ||
| 技术参数 | 刻蚀图形 | ||
| 售后服务 | /; | ||
之江实验室
2023-07-14 10:02:45
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