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南方科技大学SUSTech-JC-2024-00126终止公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2024-00126
终止公告
项目名称 材料系YURY ILLARIONOV课题组离子束刻蚀机采购申请
项目编号 SUSTech-JC-2024-00126
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
采购方式 公开竞采
终止理由 同意终止该项目
公告发布时间 2024-02-24 11:36:49
预算(元) 登录即可免费查看.00
项目预算是否含税 国产含税
备注




序号 名称 数量 单位
1
离子束刻蚀机(核心货物)
1

是否接受进口
拒绝进口
品牌
无推荐品牌
型号
无推荐型号
技术规格及参数
1.真空室尺寸为:直径500mm×高500mm,有前后两个门,后门便于离子源的维护
2.离子源种类:考夫曼直流离子源
3.可刻蚀的材料:金属,金属氧化物,介质,二维材料等
4.刻蚀工艺气体:Ar
5.设备整机尺寸为长1500mm×宽1000mm×高1700mm
6.设备整机重量为750kg
7.设备可装载最大样片尺寸:Φ4英寸
8.设备支持基于PLC及上位机的全自动和半自动控制
9.设备极限真空度为6.7×10-5Pa
10.设备漏率不超过5×10-7Pa·L/s
11.设备系统停泵关机12小时后,真空度≤5Pa
12.设备系统充干燥N2解除真空,短时暴露大气后抽气至5×10-3Pa≤15min,9×10-4Pa≤25min
13.设备刻蚀不均匀性:φ4英寸范围内≤±5%
14.设备刻蚀角度可调节,调节范围从-45°到+90°,调节精度为1°
15.设备刻蚀过程中样品台可自转,自转速度为0-30rpm可调
16.设备刻蚀距离固定为25cm
17.样品表面冷却温度为5℃-35℃
质保期
一年质保,质保期间不收取材料费,维修费及人工服务费。质保期从设备验收完成开始计算。
售后要求
1.中标商应在前述保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。 在前述保修期内,如货物出现损坏和故障,招标人报修后,【24】小时内响应,【48】小时内派员上门现场维护,并在【72】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。
2.中标商必须售前、售中、和售后均可以无障碍地与投标项目负责人用英文或者俄罗斯语进行书面和口头的沟通。

付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付70%的货款。
交货期 合同签订后75天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前7天(自然日)通知送货
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