[HF20241076]MEMS工艺开发成交公告
微信分享
关注项目
标讯收藏
| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
认领
立即查看
|
业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
1.项目名称：MEMS工艺开发
2.成交供应商名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
3.成交供应商地址：上海市长宁路865号
4.成交金额(币种)：5.200万元
5.付款方式：服务完成且验收合格后15个工作日之内付合同金额100%。
6.主要成交标的：
华中科技大学光学与电子信息学院
2024年05月14日
2.成交供应商名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
3.成交供应商地址：上海市长宁路865号
4.成交金额(币种)：5.200万元
5.付款方式：服务完成且验收合格后15个工作日之内付合同金额100%。
6.主要成交标的：
| 序号 | 服务内容 | 服务期限 |
| 1 | 基于MEMS加工工艺制作谐振腔，通过光刻、外延、薄膜淀积、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装为基本工艺步骤来制造。按以上工艺流程开发，提交包含完整结构的晶圆1片。 | 合同签订后30天之内完成服务 |
| 2 | | |
| 3 | | |
华中科技大学光学与电子信息学院
2024年05月14日
微信扫码关注
