试验真空腔体-东南大学-竞价公告(CB102862023001315)
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东南大学 - 竞价公告 (CB102862023001315)
发布时间：2023-08-15 09:14:08 截止时间：2023-08-18 09:00:00
基本信息：
申购主题：试验真空腔体
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币
收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
备注说明：
采购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
|---|
| 1 | 试验真空腔体 | 1/台 | 定制 | 定制 | 1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，腔室直径不大于Φ800mm，高度不小于800mm，要求双层水冷，至少配一套方便拆卸的防污板；前门采用锻铝材质，配备2个观察窗口； 2. 腔室烘烤：要求采用真空用加热器烘烤加热，最高温度300℃，可数显实时温度并PID控温； 3. 腔室内承载平台：可承载8英寸硅片的平台，具备旋转、升降、水冷功能； 4. 配一路质量流量控制器，量程不小于20sccm；配一台冷却循环水机，功率不低于2匹； 5. 腔室开孔：根据客户要求开具相应接口，包括但不限于：CF250分子泵抽气口，KF40前级泵抽气口，充气阀接口，放气阀接口，8英寸基片台接口，以及具备升级电子束蒸镀功能的所有接口。 6. 负责现场安装，以及将客户提供的配件与腔体组装。 | 按行业标准提供服务 |
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