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中山大学先进能源学院PECVD系统采购项目采购需求公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
中山大学先进能源学院PECVD系统采购项目
基本信息
项目编号 中大招(货)[2022]1739号
项目名称 中山大学先进能源学院PECVD系统采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 PECVD系统 采购单位 中山大学
项目预算 ***
采购开始时间 2022-12-02 16:13 
采购结束时间 2022-12-09 09:00 
是否送货
期望收货时间 合同签订后60天交货 经办人 登录即可免费查看 经办人电话 020-84115084转807
送货地址 广东省深圳市光明区公常路66号中山大学深圳校区,校内具体地点由用户指定。
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。
2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。
3、本项目学校不收取任何费用。
4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902)提前办理CA证书。
5、“★”标注的技术参数为废标条款,如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表
采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
PECVD系统 2台 【合肥科晶】 【河南诺巴迪】 【上海申大电炉】 详情请进入系统查看
"PECVD系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 1、输入电源: 208 – 240V AC,功率:≥1.2kW; 重要
2 2、最高工作温度≥1200°C,小于60分钟; 重要
3 3、 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命; 非常重要
4 4、连续工作温度≥1100°C; 非常重要
5 5、炉管采用高纯石英管:≥50mmOD x 44mmID x 1000mm L; 重要
6 6、可设置至少30段升降温程序,并且带有过热和断偶保护功能; 重要
7 7、加热区长度:≥200mm 单温区; 非常重要
8 8、 恒温区2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C; 重要
9 9、输出功率: 5 -300W 可调 稳定性± 1%; 非常重要
10 10、 射频电源频率: 13.56 MHz 稳定性±0.005% ; 重要
11 11、最大反向功率: 200W ; 非常重要
12 12、等离子体射频电源:射频电源电子输出端口: 50 Ω, N型半导体, 阴极, 噪音: <50 dB,冷却: 风冷,电源: 208-240VAC, 50/60Hz; 非常重要
13 13、真空泵:AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W;≥2 Liter /S ;出气端安装有油雾过滤器;真空度: 10-2 torr; 重要
14 配置清单:
1、 主机 一套
2、 真空泵 一个
3、 管堵 一套
4、 石英管 一根
重要
15 保修范围:
主机和所有附件。售后服务要求:
1. 设备投标商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作;
2.收到用户安装条件就绪的通知后,安装工程师3天内到安装现场进行设备的安
装和调试;
3.提供全套说明书并包括简易的中文操作说明和注意事项;
4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障,保修承担方须在接到故障通知后
即时响应,并在48小时内安排上门服务,如故障需要更换零配件,保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好;
5.能快捷地提供各相应零配件,消耗性材料的补充服务,提供保修期外零配件会
员价优惠供应。
培训要求:
1.设备安装完成后,由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作,培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容,直到至少3名操作人员能够排除大部分机器故障,熟练使用设备为止;
2.设备投标商需提供免费技术支持电话,解答用户问题并提供现场维护服务;
3.设备投标商需提供现场安装调试服务,提供详细技术资料并免费对我方进行培训,培训的内容及方案应由双方协商制定,确保本单位的技术人员能够熟练掌握该设备的使用方法。
重要


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