光刻机

基本信息

省份	江苏	城市	南京市
招标代理机构		项目名称	光刻机
采购单位		采购联系人	登录即可免费查看
采购电话	登录即可免费查看
拟定单一来源采购供应商

基本信息
项目名称		省份
业主单位		业主类型
总投资		建设年限
建设地点
审批机关		审批事项
审批代码		批准文号
审批时间		审批结果
建设内容

东南大学 - 竞价公告 (CB102862023000047)
发布时间：2023-02-13 11:17:15 截止时间：2023-02-16 09:00:00
基本信息：
申购主题：光刻机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：198,000.00 (元)

收货地址：江苏省/南京市/玄武区/****
备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
光刻机
数量
1台
预算单价
登录即可免费查看
品牌
IOE
型号
URE-2000/35LD
规格参数
 曝光面积：4英寸
 曝光波长：365nm ★分辨力：1mm
 对准精度：±1mm
 ★掩模样片整体工件台运动范围：X：15mm;Y:15mm
 掩模尺寸： 5英寸,向下兼容
 样片尺寸：4英寸，向下兼容，支持碎片
 厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm)
 曝光方式：定时（倒计时方式）
 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
 ★双目双视场对准显微镜或者光学镜头+CCD+显示器：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍
 调平接触压力通过传感器保证重复
 数字设定对准间隙和曝光间隙
 掩模相对于样片运动行程：
 X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º
 ★最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）
 光源平行性：2.5 º
 曝光能量密度：>40mW/cm²
 单层曝光一键完成
 采用球气浮自动找平
 照明不均匀性： £2.5%（ f100mm范围）；
 曝光光源：紫外LED；
2．外形尺寸：约1100mm（长）700mm(宽) 1800mm（高）。
质保及售后服务
质保一年，终身维修。
提供一次移机服务。
附件
光刻机参数及规格（35LD）1213.docx