8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉国际招标澄清或变更公告(3)
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8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉 - 国际招标澄清 或变更公告(1)
澄清或变更简要说明：1.投标截止时间变更为：2024年6月7日上午9：30
2.投标文件送达地点和开标地点变更为：安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型 综合配套楼5层
3.变更招标文件
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-05-22在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称：低应力氮化硅生长炉、原位掺杂多晶硅生长炉
设备数量：
设备1 原位掺杂多晶硅生长炉（1台）：包含低应力多晶硅/多晶硅/原位掺杂多晶硅工艺模块和 TEOS工艺模块；
设备2 低应力氮化硅生长炉（1台）：包含低应力氮化硅工艺模块和氮化硅工艺模块。
设备用途：用于生长低应力氮化硅/原位掺杂多晶硅/低应力多晶硅/多晶硅/TEOS薄膜。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF28/06
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之低应力氮化硅生长炉和原位掺杂多晶硅生长炉 项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 低应力氮化硅生长炉 | 1 | 薄膜应力范围 -40~＋40MPa (4μm Poly退火后，应力可调)。其他参数详见第八章 | 无 |
| 2 | 原位掺杂多晶硅生长炉 | 1 | 应力范围 -100~0MPa，应力可调。其他参数详 见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
② 投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供承诺书，格式自理）。 ⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
技术贸
郴
冠
冶
公告签章
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-05-10
招标文件领购结束时间:2024-05-16
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦8楼西侧（南京市长江路198号） 招标文件售价:￥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-06-07 09:30
投标文件送达地点:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层 开标地点:安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层 6、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市东海大道888号
联系人:登录即可免费查看
联系方式:登录即可免费查看
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号11楼
联系人:登录即可免费查看
联系方式:登录即可免费查看
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）
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