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材料系小型原子层沉积镀膜设备采购成交公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2024-00020
竞采结果公告
项目名称 材料系小型原子层沉积镀膜设备采购
项目编号 SUSTech-JC-2024-00020
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
公示时间 本公告自发布之日起三日
成交单位 厦门韫茂科技有限公司
成交金额(元) 登录即可免费查看.00
成交理由 最低价成交
预算(元) 登录即可免费查看.0
项目预算是否含税 国产含税
备注




采购明细
序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价)
1
小型原子层沉积镀膜设备(核心货物)
1

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是否接受进口
拒绝进口
品牌
韫茂
型号
Mini Desktop ALD
生产厂商
厦门韫茂科技有限公司
产地信息
福建厦门
技术规格及参数
1.1 设备整体尺寸590 x 470 x 470 mm;
1.2 工艺温度: 正常室温到360℃之间可调:
1.3 成膜不均匀性:1% (氧化铝)
1.4 前驱体源: 配备4个单管式50ml前驱体源,一条清扫气线;
1.5 源瓶配备5个单管式50ml前驱体源,含 5个手阀:
1.6 源瓶加热器配备3个180℃单管加热器
1.7 进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载6寸晶圆片。
1.8 腔体需为高温真空腔体,载盘温度控制精度 360±1 ℃
1.9 设备包括多组毫秒级ALD阀门,响应时间≤5ms,ALD阀组采用紧凑式面板安装,氧化源管路设计采用双ALD阀门设计,可实现定量进源:
1.10 阀组采用自动化加热,最高加热温度: 180℃:
1.11 气体质量流量计: 配备1 个精确的载气流量控制,氩气/氮气最大量程 200sccm;
1.12 真空规: 配备薄膜真空规,实时显示工艺压力,标准 10torr 电容薄膜;
1.13 真空泵抽速: 配备油泵,抽速≥28m3/H,含前段返油过滤器,泵后端油雾过滤器,反应腔抽真空时间≤10S;
1.14 设备极限真空度≤50mtorr;
1.15 需配备腔体内衬板,提高腔体使用寿命,便于维护清洗,减少 particle 脱落
1.16 需配备专业的ALD泵前级过滤器,保护真空泵;
1.17 需配备一体式工控机:12.1 寸,带触摸功能
1.18 软性基本功能:行业标准多个GUI界面,用于自动和手动操作,系统监视器,报警和配方编辑,工艺菜单编辑功能,简易工艺预设格式,多工艺菜单存储功能
1.19 报警及安全控制:配备温度,压力,气体流量,源串扰,卸载,电气和气动控制异常报警系统
1.20 设备可支持后续升级到最高浓度10%臭氧发生器系统模块,替代水工艺
质保期
1年
售后要求
1. 质保期:我司提供制造商免费质保1年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算,在保修期内,一旦发生质量问题,我司保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换,保修期间维修及零件更换费用由我司负担。由我司提供质保服务,由我司提供售后服务。
2. 维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,2小时内响应,24小时内派员上门现场维护,并在48小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。
3. 验收标准:根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收,设备经过双方检验认可后,签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算,由投标人提供产品保修文件。 以下条件时,采购人才向中标人签发货物验收报告: a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料; b、货物符合招标文件技术规格书的要求,性能满足要求; c、货物具备产品合格证。
4. 在用户所在地对用户进行为期1天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等,保证用户至少2人能熟练操作仪器和分析数据。验收后半年内组织买方相关人员2人免费参加在厂家举办的相关应用培训班。

付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的50%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付50%的货款。
交货期 合同签订后7天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前7天(自然日)通知送货
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