北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目
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公告签章
北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目 - 评标结果公示公告
项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab02/10
招标范围：产品名称：DLC钝化膜镀膜机 数量：1台 简要技术规格：DLC钝化镀膜机是一种半导体芯 片加工设备，数量1台，具体规格如下： 1）可用于在硅片表面沉积50nm~300nm厚度DLC薄膜；2）可用于在硅片表面沉积DLC薄膜，薄膜片内均匀性小于等于5%; 3）可用于在硅片表面沉积DLC薄 膜，薄膜击穿场强大于等于100MV/cm(@120nm)。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示开始时间：2023-06-12 19:35
评标公示截止时间：2023-06-15 23:59
中标候选人名单：
| 候 选 人 排 名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地 区 |
| 1 | 北京中天博通科 技有限公司 | 江苏鲁汶仪器股 份有限公司 | 中国 |
| 2 | 北京北方华创微 电子装备有限公 司 | 北方华创 | 中国 |
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）
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