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高温化学气相沉积系统

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
项目编号:JJ23021616050570 发布时间:2023-02-16 截止时间:2023-02-19 00:00:00
采购商:华南师范大学
高温化学气相沉积系统
竞价公告(JJ23021616050570)
...
说明:各有关当事人对竞价公告内容有异议的,可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议,逾期将视为无异议,不予受理。
采购单位:华南师范大学
联系人:登录即可免费查看
联系电话:登录即可免费查看
E-mail:
传真:无
联系手机:无
邮编:无
质疑电话:85211082
平台联系电话(异议):020-37619972;
项目名称:
高温化学气相沉积系统
竞价编号:
JJ23021616050570
采购类型:货物类
开始时间:2023-02-16 16:05:00
项目预算(元):55,000.00
结束时间:2023-02-19 16:05:00
一、基本信息
竞价编号:JJ23021616050570
项目名称:高温化学气相沉积系统
项目预算(元):55,000.00 报价方式:
总价报价
采购单位:华南师范大学 联系人:登录即可免费查看
最少报价家数:3 联系电话:登录即可免费查看
联系手机:无 电子邮箱:
异议反馈:020-37619972;
开始时间:2023-02-16 16:05:00 截止时间:2023-02-19 16:05:00
邮编:无
平台联系电话(异议):020-37619972;
采购类型:货物类
开始时间:2023-02-16 16:05:00
项目预算(元):55,000.00
结束时间:2023-02-19 16:05:00

二、资格条件
资格条件:无

三、商务要求
付款方式:对公转账,按下列程序在 30 天 内付款: 设备安装调试结束并验收合格后,提交全部报告材料和发票,支付至合同金额的 100 %。
交付时间: 签订合同后5天送货。
交付地址: 广州市番禺区广州大学城华南师范大学理2栋。
质保期及售后要求:质保期:所有货物提供至少 壹 年免费质保,质保期内提供免费上门服务(含部件、人力、上门等),质保期自货物验收之日起计算,保修费用计入投标报价。并承诺质保期满后供应商继续提供维修服务,并优惠收费。
其他要求:无

报价人资格条件:无
备注:
各有关当事人对竞价成交结果有异议的,可以在竞价结果公告发布之日起3天内提起异议,逾期将视为无异议,不予受理。
四、技术要求
项目名称:高温化学气相沉积系统
产品信息
序号 标的名称 数量 单位 品牌 产品类别 型号 是否限定品牌 技术要求
1 高温化学气相沉积系统 1.00 合肥科晶/CVD-GZKX-17SL 包括炉体、气路通道和真空系统;
炉体结构:采用双层壳体结构,并带有风冷系统,炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维,最大程度的减少能量损失。
炉膛尺寸:290mm*220mm*160mm。
最高温度可达1700度(≤30min)。
可实现多段温控程序精准控温。
额定功率:5.5KW;额定电压:AC220V;使用温度:1650°。
建议升温速率:1400℃以下:≤10℃/min ;1400℃到1600℃:≤5℃/min ;1600℃以后:≤2℃/min 。
加热元件:硅钼棒。
热电偶:B型。
加热区长度:290mm。
▲标配直径80mm一根刚玉管;标配有两个不锈钢真空法兰。进气端法兰安装有一根4空的陶瓷管,可以将进气穿过管堵,直接进入高温区。配套的两个管堵直接固定在法兰上面,方便客户每一次装取物料。在炉体上面安装有一套法兰支撑架,用于客户每次拆装法兰之后,放置法兰用。
尾气处理:法兰出气端安装气体收集和燃烧装置,以便可收集或处理特殊气体。
温控系统:包含一款YD518P型温度控制器 ,PID自动控温系统,智能化30段可编程控制,控温精度:±1℃,默认DB9 PC通信连接端口 ,通过MET认证。 通过安装软件实现控制升温曲线和导出数据。
气路通道 3通道,气路流量控制器: 采用浮子流量计控制 标准量程 10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 接口 Φ6.35,1/4'' 工作环境温度 5~45高纯气体 不锈钢管 Φ6(外)X Φ4(内) 压力真空表 -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀 Φ6.35 混气罐 Φ80×140mm
真空系统:600*600mm的承重台面,可配合管式炉使用,移动架带有四个滚轮;真空泵抽气速率:3L/S,极限真空10-1Pa,双层立式油雾过滤器(PE材质)与真空泵连接,含有电阻硅真空计,可精准的测量真空度;法兰材质采用316不锈钢,出气口接头为1/8'宝塔气嘴接头,抽气接口为KF25接口,通过远程控制达到人机分离控制。
设备外形:1410mmL*510mmW*780mmH。
▲配置:真空泵1台、气路系统1台,真空系统1套、测温系统1套、尾气处理装置1套、高温手套1副、刚玉管1支、氧化铝炉塞2对、高温密封圈8个、炉勾1把,进气管1/4英寸1套;
技术要求:包括炉体、气路通道和真空系统;
炉体结构:采用双层壳体结构,并带有风冷系统,炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维,最大程度的减少能量损失。
炉膛尺寸:290mm*220mm*160mm。
最高温度可达1700度(≤30min)。
可实现多段温控程序精准控温。
额定功率:5.5KW;额定电压:AC220V;使用温度:1650°。
建议升温速率:1400℃以下:≤10℃/min ;1400℃到1600℃:≤5℃/min ;1600℃以后:≤2℃/min 。
加热元件:硅钼棒。
热电偶:B型。
加热区长度:290mm。
▲标配直径80mm一根刚玉管;标配有两个不锈钢真空法兰。进气端法兰安装有一根4空的陶瓷管,可以将进气穿过管堵,直接进入高温区。配套的两个管堵直接固定在法兰上面,方便客户每一次装取物料。在炉体上面安装有一套法兰支撑架,用于客户每次拆装法兰之后,放置法兰用。
尾气处理:法兰出气端安装气体收集和燃烧装置,以便可收集或处理特殊气体。
温控系统:包含一款YD518P型温度控制器 ,PID自动控温系统,智能化30段可编程控制,控温精度:±1℃,默认DB9 PC通信连接端口 ,通过MET认证。 通过安装软件实现控制升温曲线和导出数据。
气路通道 3通道,气路流量控制器: 采用浮子流量计控制 标准量程 10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 接口 Φ6.35,1/4'' 工作环境温度 5~45高纯气体 不锈钢管 Φ6(外)X Φ4(内) 压力真空表 -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀 Φ6.35 混气罐 Φ80×140mm
真空系统:600*600mm的承重台面,可配合管式炉使用,移动架带有四个滚轮;真空泵抽气速率:3L/S,极限真空10-1Pa,双层立式油雾过滤器(PE材质)与真空泵连接,含有电阻硅真空计,可精准的测量真空度;法兰材质采用316不锈钢,出气口接头为1/8'宝塔气嘴接头,抽气接口为KF25接口,通过远程控制达到人机分离控制。
设备外形:1410mmL*510mmW*780mmH。
▲配置:真空泵1台、气路系统1台,真空系统1套、测温系统1套、尾气处理装置1套、高温手套1副、刚玉管1支、氧化铝炉塞2对、高温密封圈8个、炉勾1把,进气管1/4英寸1套;
售后服务:

产品信息end
五、附件
附件信息
序号 附件名称 上传时间 大小 操作

附件信息end
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