南京新工投资集团有限责任公司所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目-招标公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
南京新工投资集团有限责任公司
所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目
招标公告
（招标编号：JG066023F02495 ）
公告发布时间：2023年7月3日 项目所在地区：江苏省，南京市
一、招标条件
本南京新工投资集团有限责任公司所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目已由招标人单位内部批准建设，项目资金来源为自筹，招标人为南京新工投资集团有限责任公司。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目概况：多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务，数量1台。该设备在150mm （6英寸）芯片制造中，实现对晶圆的溅射镀膜工艺。镀膜均匀性片内、片间、批间均匀性均优于±3%；刻蚀速率大于100A/Min，连续三批次（片量≥3）的片内、片间、批间均匀性优于±8%；薄膜应力的绝对值小于500MPa；平均晶粒尺寸不大于500nm，在波长436nm的绝对反射率优于65%，可通过尼康光刻机识别验证；溅射膜层（厚度3-5um）对深宽比在1~2之间的垂直沟槽可实现完全的底部填充，无空洞，膜层内部紧密连续，底部覆盖率大于100%且表面平坦；溅射腔漏率优于6000nT/min，极限真空优于2*10-8Torr。预清洗腔漏率优于5000nT/min，极限真空优于2*10-7Torr。loadlock腔漏率低于1mT/min，本底真空优于5*10-2Torr连续传片1000片，无碎片、无卡片、平边全部识别准确、无报错。
交货期：合同签订后6个月
质保期：1年
招标范围：本招标项目划分为1个标段。
三、投标人资格要求
3.1、投标人是响应招标、参加投标竞争的法人或其他组织；提供营业执照复印件并加盖公章。(原件备查)
3.2、提供投标人法定代表人授权委托书。
3.3、投标人企业财务和经营状况良好，具备履行合同能力，近三年内无不良经营行为，提供2022年财务审计报告。（原件备查）
3.4、投标人在本次招标项目投标截止日前3年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有因违法经营受到责令停产停业、吊销许可证或者执照、列入严重违法失信企业名单（黑名单），以国家企业信用信息公示系统（www.gsxt.gov.cn）的查询结果为准，事业单位以“事业单位在线”（www.gjsy.gov.cn/）查询结果为准。评标时发现不满足前述规定，将导致资格审查不合格。
3.5、投标人2018年1月1日以来（以合同签订时间为准）同类多腔式磁控溅射台合同，提供合同复印件，原件备查。
3.6、本项目不接受联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：从2023年7月3日到2023年7月10日17时30分
获取方式：
（一）招标文件每套服务费100元，下载后不退。
（二）下载者登录平台前，须前往中招联合招标采购平台:www.365trade.com.cn/免费注册（平台仅对供应商注册信息与其提供的附件信息进行一致性检查）；注册为一次性工作，以后若有需要只需变更及完善相关信息；注册成功后，可以及时参与平台上所有发布的招标项目。
（三）下载者须通过平台填写“购标申请”。
（四）下载者选择“需要邮购纸质标书”的，需支付邮购费，招标代理机构将在文件下载后的1个工作日内寄送。
（五）下载者需要发票的，须通过平台填写“开票申请”；招标文件费用及邮购费发票由招标代理机构出具，在开标时领取。
（六）平台公司咨询电话为：01086397110；平台将确保下载者的购买信息在开标前对平台公司有关工作人员保密；如下载者主动与平台公司工作人员联系咨询事宜，则视为下载者主动放弃信息保密的权利，平台公司将不承担任何责任。
（七）联合体投标（如公告允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名义在平台办理注册、购买文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各方均具有约束力。
五、投标文件的递交
递交截止时间：2023年7月25日09时30分
递交地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标2室
六、开标时间及地点
开标时间：2023年7月25日09时30分
开标地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标2室
七、其他
（一）项目名称：南京新工投资集团有限责任公司所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目
（二）逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
（三）发布公告的媒介
本次招标公告江苏省招标投标公共服务平台www.jsnjebpubservice.com，南京新工投资集团有限责任公司www.njnii.com上发布。
八、监督部门
本招标项目的监督部门为南京新工投资集团有限责任公司。
九、联系方式
招 标 人：南京新工投资集团有限责任公司
地 址：南京市玄武区唱经楼西街65号
联 系 人：登录即可免费查看
电 话：登录即可免费查看
招标代理机构：江苏省设备成套股份有限公司
地 址：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋10楼1007室
联 系 人：登录即可免费查看
电 话：登录即可免费查看
电子邮件：gaojq@jcec.cn
所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目
招标公告
（招标编号：JG066023F02495 ）
公告发布时间：2023年7月3日 项目所在地区：江苏省，南京市
一、招标条件
本南京新工投资集团有限责任公司所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目已由招标人单位内部批准建设，项目资金来源为自筹，招标人为南京新工投资集团有限责任公司。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目概况：多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务，数量1台。该设备在150mm （6英寸）芯片制造中，实现对晶圆的溅射镀膜工艺。镀膜均匀性片内、片间、批间均匀性均优于±3%；刻蚀速率大于100A/Min，连续三批次（片量≥3）的片内、片间、批间均匀性优于±8%；薄膜应力的绝对值小于500MPa；平均晶粒尺寸不大于500nm，在波长436nm的绝对反射率优于65%，可通过尼康光刻机识别验证；溅射膜层（厚度3-5um）对深宽比在1~2之间的垂直沟槽可实现完全的底部填充，无空洞，膜层内部紧密连续，底部覆盖率大于100%且表面平坦；溅射腔漏率优于6000nT/min，极限真空优于2*10-8Torr。预清洗腔漏率优于5000nT/min，极限真空优于2*10-7Torr。loadlock腔漏率低于1mT/min，本底真空优于5*10-2Torr连续传片1000片，无碎片、无卡片、平边全部识别准确、无报错。
交货期：合同签订后6个月
质保期：1年
招标范围：本招标项目划分为1个标段。
三、投标人资格要求
3.1、投标人是响应招标、参加投标竞争的法人或其他组织；提供营业执照复印件并加盖公章。(原件备查)
3.2、提供投标人法定代表人授权委托书。
3.3、投标人企业财务和经营状况良好，具备履行合同能力，近三年内无不良经营行为，提供2022年财务审计报告。（原件备查）
3.4、投标人在本次招标项目投标截止日前3年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有因违法经营受到责令停产停业、吊销许可证或者执照、列入严重违法失信企业名单（黑名单），以国家企业信用信息公示系统（www.gsxt.gov.cn）的查询结果为准，事业单位以“事业单位在线”（www.gjsy.gov.cn/）查询结果为准。评标时发现不满足前述规定，将导致资格审查不合格。
3.5、投标人2018年1月1日以来（以合同签订时间为准）同类多腔式磁控溅射台合同，提供合同复印件，原件备查。
3.6、本项目不接受联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：从2023年7月3日到2023年7月10日17时30分
获取方式：
（一）招标文件每套服务费100元，下载后不退。
（二）下载者登录平台前，须前往中招联合招标采购平台:www.365trade.com.cn/免费注册（平台仅对供应商注册信息与其提供的附件信息进行一致性检查）；注册为一次性工作，以后若有需要只需变更及完善相关信息；注册成功后，可以及时参与平台上所有发布的招标项目。
（三）下载者须通过平台填写“购标申请”。
（四）下载者选择“需要邮购纸质标书”的，需支付邮购费，招标代理机构将在文件下载后的1个工作日内寄送。
（五）下载者需要发票的，须通过平台填写“开票申请”；招标文件费用及邮购费发票由招标代理机构出具，在开标时领取。
（六）平台公司咨询电话为：01086397110；平台将确保下载者的购买信息在开标前对平台公司有关工作人员保密；如下载者主动与平台公司工作人员联系咨询事宜，则视为下载者主动放弃信息保密的权利，平台公司将不承担任何责任。
（七）联合体投标（如公告允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名义在平台办理注册、购买文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各方均具有约束力。
五、投标文件的递交
递交截止时间：2023年7月25日09时30分
递交地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标2室
六、开标时间及地点
开标时间：2023年7月25日09时30分
开标地点：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋11楼开标2室
七、其他
（一）项目名称：南京新工投资集团有限责任公司所需多腔式磁控溅射台及相关安装调试等服务项目
（二）逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
（三）发布公告的媒介
本次招标公告江苏省招标投标公共服务平台www.jsnjebpubservice.com，南京新工投资集团有限责任公司www.njnii.com上发布。
八、监督部门
本招标项目的监督部门为南京新工投资集团有限责任公司。
九、联系方式
招 标 人：南京新工投资集团有限责任公司
地 址：南京市玄武区唱经楼西街65号
联 系 人：登录即可免费查看
电 话：登录即可免费查看
招标代理机构：江苏省设备成套股份有限公司
地 址：南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋10楼1007室
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电 话：登录即可免费查看
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