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03主轴驱动单元西门子6SL3120-1TE28-5AA01.043500.043500.04直线光栅尺(双X)发格LAS-68-A(左侧)LAS-68-M-A(右侧)1
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028200.056400.03高精度工作台无定制1.038500.038500.042m级直线光栅尺无FAGORG2ABC50-3040-5-A2.039500.079000
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高性能无铁芯直线驱动电机(无回程差)行程:155mm步进精度:50nm(直线光栅尺精度)双向重复定位精度:±100nm2)自动对焦模组
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00/536397-01程工/1356909702827直线光栅尺/LS187C-ML740-5.0um/526974-072EA直线光栅/526974
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外径≥500MM\内孔203MM\厚度20-40MM;2.4机床的Z轴和X轴配置直线光栅尺,用于丝杆磨削时的径向和轴向定程;2.5外圆部份测量采用主动式量仪在线测量并控制机床的磨削
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外径≥500MM\内孔203MM\厚度20-40MM;2.4机床的Z轴和X轴配置直线光栅尺,用于丝杆磨削时的径向和轴向定程;2.5外圆部份测量采用主动式量仪在线测量并控制机床的磨削
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Z轴安装在静龙门横梁。2、XYZ轴选用高精度无铁芯直线电机驱动,精密直线光栅尺做闭环反馈,高刚度低摩擦滚柱导轨做支撑和导向。3、XYZ轴结构件选用进口航空7075铝合金